新浪科技訊 9月21日上午消息,長鑫存儲宣佈第五代DRAM技術平台(簡稱「G5平台」)實現量產,同時展出基於該平台打造的大容量LPDDR5X新品。據悉,該平台工藝水平比肩行業頂尖量產工藝節點,是長鑫存儲高端存儲技術路線上的里程碑式突破。
G5平台依託創新的四重曝光技術把內存陣列的有源區半間距微縮至11.95納米,接近全球頂尖內存量產平台製程。通過變革工藝流程、採用新材料,存儲電容深寬比達45:1。開發適配DRAM工藝的高介電常數金屬柵(HKMG)工藝,將G5平台核心功能區高度縮小到6762納米。
G5微縮工藝的突破推動存儲密度實現跨越式提升:每片晶圓產出裸片數量較第四代平台提升至少50%,在產品能效、成本控制上均具備顯著優勢。